����������������о�����20����90���ĩ�ڡ�������޴��Ӧ�ü����Ѿ����������������Ҿ��²��š���ҵ���ѧ����ļ����ע����2000���𣬹����Ͽ�ʼ����һЩ�йش����������о�����ı���J��I����о��ɹ���ǰ�������𲽽׶Σ�����ʵ�����󻹺�Զ������������Ȼ��ѧ����ίԱ����2003���ƶ��˴�����������о��ƻ�����Ҫע�����ү�������о��������������͸����²���Ҳ�Դ��������缰Ϊ���ӣ�������һϵ�о��´����������о���Ŀ��

����Ӣ�ض���΢��˾����Ϣ���ս��ͷҲ��ʼ�˴��������緽��Ĺ�������Ҳ��ͳ�Ĺ�翪�ش��������ӽ�������������Ӧ�����򽫻���ӿ��ء��ձ����¹���Ӣ����������ȿƼ��������Ҳ�����ߴ�����������ֳ��˼������Ȥ���׷�չ���˸�������о��������ҹ������ߴ�����������о��Ÿո��𲽣��ڴ��������緽����о����������ࡣĿǰ������һЩ�ߵ�ԺУ���о������ѻ�����չ���ߴ�������������������������Ҫ���廪��ѧ���п�Ժ��������㽭��ѧ����������ҵ��ѧ���п�Ժ�Զ������ȡ�

�����������о������׷׿�չ�����ߴ����������о�����ȫ�鹦���������Ӧ��ǰ���Ͷ��������ľ޴����졣

������ĿǰΪֹ�����ߴ���������ķ�չ���¾���r�����׶Σ���һ�׶���Ҫ������MEMS�������С�ͻ��Ľڵ��豸;�ڶ��׶���Ҫ�����ڶ����籾��������о�������Ŀǰ���ߴ����������о��������Ҫ����