����ͨ����չ,�����������Ͳ�Ʒ���й�,һ��ΰ��Ľ�����ȫ���Ѿ���1600�����ҵ�ͻ������´��������о�����չ�����档����������,���й�,��������Ʒ�ֺ�����ˮƽ,��������,�ռ��г�������,����ˮƽ��ˮƽ���ڹ�����1990������ڡ���2012��,�ô���������Ӧ��Ŭ��ʵ������ս��Ŀ�ꡣ

����ͨ����չ,�������������������Ͳ�Ʒ���й�,һ��ΰ��Ľ�����ȫ���Ѿ���1600�����ҵ�ͻ������´��������о�����չ�����档����������,���й�,��������Ʒ�ֺ�����ˮƽ,��������,�ռ��г�������,����ˮƽ��ˮƽ���ڹ�����1990�������

�����ռ����������ɿƼ����������µ�����ҵ�ĺ��ļ�����������ڹ���,��������֪ʶ��Ȩ�IJ�Ʒ,���ಢ������,��Ʒ����ˮƽ�ͺ�����15������,Ͷ��ǿ�ȵ�,�豸�����������豸���,��ˮƽ�ijɾ�,������IJ�Ʒ,�����������ѽ�,Ӱ��ת�����гɹ�,�ۺ�ʵ���ϵ�,��ҵ��չ������ȱ�ȡ�

������2012��,����������Ӧ��Ŭ��ʵ������ս��Ŀ��:

�����ڹ�ҵ���ơ�������ͨѶ�������ؼ�����,�봫����������Ԫ��,��ѧ�����ר�õ�·��Ϊ��Ҫ����,������������֪ʶ��Ȩ��ԭ�������Ͳ�Ʒ������MEMS����,���ڼ��ɡ����ܺ����缼��,��ǿ�������̺Ϳ����µĴ��������DZ����,������Ʒ�����ǰ���ӽ�����ͬ���Ʒ��ˮƽ����������Ʒ�֡������;���Ч��Ϊ��ҪĿ��,�ӿ칤ҵ�������ڸ��ָ����Ĵ�����,������Ϊ70% ~ 70%,60%���ϵĸߵ���Ʒ��

�����������Ŀ���������2012��

����(1)MEMS���պ����칤�յ���һ���Ĺ�̬������΢�ṹ;�Ӧ���ӿ�ʴ(�嶯)���̻��Կ�����,��װ����,�����¼��Ϸ�װ��ϡ�跴�ݺ��ӡ���Ӧ�����ṹ��оƬ��װ����;�µĴ�����;���ʹ��΢�����ʽ������,΢���������������������ն�̬��������΢������;����������΢�����������ѹ�������ٶȴ���������ѧ�������ȡ�

����(2)���ɹ��̺�΢�۽ṹ�Ķ�Ԫ���ϴ������������켼������ҵ��Ԫ���ϴ���������,��:ѹ����������,��̬ѹ�����¶ȴ�������ѹ�����硢�¶ȡ�ʪ�ȴ��������ĸ�����΢�踴��Ӧ��ѹ��������,��ʾ��������

����(3)�������߻����߼��������ܴ������źż�⡢�任����,�߼��ľ���,�������㡢˫��ͨ��������ϡ����ܼ���,��ZhiNengDuo���������������ܴ������͸������ܴ�����,��������

����(4)���紫���������绯���������缼��,���绯���������������ӿں�Э���빤ҵ����ģ�Ĺ��ܡ�