�������������ճ���������������Խ��Խ����,һ�����͵Ĵ����������ߴ����������˴����������ܴ������ͽ����������������г��ݶ�Խ��Խ��,δ������������Ҫ��չ�ķ�������ͷ:С�ͻ������ܻ���������

����С�ͻ�:΢�������ǻ��ڰ뵼�弯�ɵ�·�����ķ�չ,MEMS(microelectro mechanicalsystems΢���ӻ�еϵͳ)����,����΢�ӹ��������������΢�׼���,�źŴ�����,���ݴ����豸��װ��һ��оƬ,�������С���ɱ��͡����׼��ɺ����Ե�����,�������ϵͳ���Ȳ��ԡ��Ѿ���ʼʹ�û���MEMS������������ȡ�����еIJ�Ʒ����΢���Ӽӹ������Ľ�һ����չ,�ر������׼ӹ�����,��������������΢��������չ���״�������΢�������ķ�չ��Ӧ�ý�Խ��Խ�ܵ����������������

��������,���ܴ�������һ��������翪����������΢����������Χ���ƺ�ͨ�ŵ�·,�������ϵͳ�Ľ��,�����м�⡢�ж�,��Ϣ����ȹ��ܡ��봫ͳ�Ĵ��������,������๦�ܡ�����,������ȷ���������Ĺ���״̬,���������ݱ��޸�,�Լ��ٴ������ڻ����������¶ȡ�ʪ�ȡ������Խ�����Ӳ�����ѽ������,���������������ݼ���ʹ���,�ȸ��Ƿ�Χ�;���,�������ܴ�����,�ź�������,����ˮƽ,Զ�̿�ά���ԡ����ȡ��ȶ��ԡ��ɿ��Ժͼ�������Զ���������Ĵ�������

����������:�����������ǻ����˵���Ϊ,���Ӿ����������о�,�����˼�����ģ��,�������Զ���ȡ��Ϣ,������Ϣ,ģ��������Ϊ�豸,������,����ҽҩ,����,�໥��͸�Ĺ��̿�����һ�����͵���Ϣ�����������＼�������������Ľ�һ����չ,�ڲ��õĽ���,����������ģ����幦�ܳ��������沿����������,���Ƶ�ǰ�Ļ������Ӿ�,ζ��,������Ŀ�����IJ��������������ǽ���������������Ӧ�õĹ���ǰ����