��������Ʒ�ص㽲��

�������������DZ�Ԫ����֮һ�������DZ���Զ���ϵͳ���������ɲ��֡����������DZ�Ԫ�������й㷺�ķ���������ص㣬Ʒ�ַ��࣬�������󣬶Լ���ˮƽ�Ͳ�Ʒ��������߽����й�����ҵ�Ļ�����

������״������

����������չ���ҹ��Ĵ��������DZ��Ʒ�ļ��������˺ܴ����ߡ�ȫ���д��´��������DZ�Ԫ�����ķ�չ������1600����ҵ�ͻ��������������������ȣ��й��Ĵ��������DZ�Ԫ������ƷƷ�ֺ�����ˮƽ���Բ�����������г�����������ˮƽ�ڹ���������90�������ˮƽ�����ڵ���Ҫ���⣺

����(1)�Ƽ����²�������켼���ڹ��������ͺ���ͺ󣬾�������֪ʶ��Ȩ�IJ�Ʒ�٣�Ʒ�ֲ�ȫ����Ʒ����ˮƽ��������15�����ҡ�

����(2)Ͷ��ǿ��ƫ�ͣ������豸�������������豸��������ǵ͵ģ��Ͳ�Ʒ�����

����(3)�Ƽ��������ѽڣ����гɹ���ת����Ӱ�죬����ʵ���ϵͣ���ҵ��չ�󾢲��㡣

����ս��Ŀ��

����2020�����������DZ�Ԫ��ӦŬ��ʵ������ս��Ŀ�꣺

����������ҵ���ƣ�������ͨѶ������������Ϊ������ص����򣬴�����������Ԫ������ѧԪ����ר�õ�·Ϊ�ص㣬��ԭ�еļ���������֪ʶ��Ȩ��Ʒ�Ŀ���;

����������MEMS����Ϊ���������ɣ����ܻ������绯����Ϊ��������ǿ���켼�������ʹ��������DZ�Ԫ�����ķ�չ��������Ʒ�ﵽ�ӽ�����ͬ���Ʒ���Ƚ�ˮƽ;

��������Ʒ�֣���������;���Ч��Ϊ��ҪĿ�꣬���ٲ�ҵ����ʹ70% ~ 80%Ʒ�ֹ��ڴ��������DZ�Ԫ������60%���ϵĸߵ���Ʒ��

������չ�ص㴫��������

����(1)MEMS��������һ��΢�ṹ�������յĹ�̬���������Ӧ���ӿ�ʴ(DRIE)���ջ�IGP����;��װ���̣�ͨ���¶ȼ��ϳɵ�װоƬ���ϣ�û������΢���Ľṹ��װ����оƬ��װ����;���ʹ����������΢����ʽ������ʹ�ã���΢���������������춯����������΢�ʹ�����������ר��ѹ�������ٶȴ�������������ѧ΢��������

����(2)���ɹ��պͶ�������ϴ�����΢�ṹ�������칤��;��Ԫ���ϴ��������繤ҵ���ƣ����ɱ�ѹ������̬ѹ�����¶ȴ���������ѹ���磬�¶ȣ��ı������������Ϲ�΢ѹ����������ʾʪ�ȴ�������

����(3)���ܻ����������ܴ������źŵ��»����߼�⣬�任���߼��жϣ��������㣬˫��ͨ������������ϼ���;���ܶ���������������ܵ����������͸������ܴ���������������

����(4)���缼�������绯���������ô��������й�ҵ��׼�ӿں�Э�鹦�ܡ�

������������

����(1)����Ԫ���������¹��յĸĽ�����������ι��պͺ��ӹ���;�ص㷢չ���գ������õĵ͸նȣ���λ�ƣ�������΢�;��ܲ��ƹܣ����¸�ѹ���ò��ƹ�;���ƹܵķ�չ�����͹����豸�����ܲ����ǡ�

����(2)��ѧԪ����չ�Ƚ��������������ѧԪ������ƣ����켼������ѧ����Ĥ���������Ӹ�����Ĥ�����������͡�

�������͹�ѧԪ���Թ�ͨ�ź����ֳ����磺΢�Ϳɱ��ܶ��˲�������խ���˲�����΢͸�����У��������ƫ��Ԫ���������沣�����ϻ��͸����

����(3)��߼��ɶȵĹ��̺�����ĵ�·��Ƽ���������ҵ�ĸ��Ի���������̻�������Ӧ�ã����ܻ��ķ�չ��