�������ڸ��и�ҵ�ļ���������һ����������ܶ��������о��Ϳ��������ǵĹ����������Ѿ�������ΰ��ı仯�����¶��ӽ�������������֮һ��

�������¶Ƚӽ�����������õĹ�ҵʵ�����㷺Ӧ���ڸ��ֹ�ҵ�Զ����������漰ʯ�͹ܵ���ˮˮ��ˮ�磬��·���䣬�������ܻ����������ƣ����պ��죬���£�ʯ����ʯ�ͣ���������������е���ߣ��ܵ�����¯��¯���ȡ�

�������µ��迿����������Ϊ�˽�����»����¸��������Һ���ѹ������Ҫ���ڹ�¯���ܵ������·�Ӧ����������������ѹ�������������⡢������ѹ�������������ѹ��������Ŀǰ���о��ͱȽϸߵ��¶Ƚӽ�����������ҪSOS��SOI��poly2si��SiO2�������뵼�崫����������Ͻ�Ĥ�ǽӽ������������¹���ѹ�������������µ���ʽѹ�����������뵼�����ʽѹ�����������������ȸߡ��¶��ȶ��Ժá����ĵͣ��Ҷ�ѹ�����С���ˣ�����ʽѹ������������������й㷺��Ӧ�á�

�������µ���ӽ��������ɹ�ĤƬ�����塢�µ缫�;�Ե����ɡ��ײ��缫λ�ڻ����ϣ����к��֧�֡��缫��������һ���Ե�㡣��ĤƬ�����ø������Ը�ʴ��������һ������γ���������ʴ�����ϲ����²��缫֮��ļ�϶���ɹ辧Ƭ�ĸ�ʴ���ȷ��������Ĥ��������������γ�һ���Ĺ�ĤƬ����ʽѹ�����������ȶ��ԡ�