���и�ҵ�ļ�������һ����������ܶණ�������о����������������ǵĹ�������������˾޴�ĸı䣬���͸��½ӽ���������������һ�֡�

       �͸��½ӽ��������ǹ�ҵʵ������Ϊ���õ�һ��ѹ������������㷺Ӧ���ڸ��ֹ�ҵ�Կػ������漰ʯ�͹ܵ���ˮ��ˮ�硢��·��ͨ�����ܽ����������Կء����պ��졢������ʯ�����;����������������������ܵ��ͷ硢��¯����¯���ڶ���ҵ��

       �͸��½ӽ���������Ϊ�˽���ڸ��»����¶Ը������塢Һ���ѹ�����в�������Ҫ���ڲ�����¯���ܵ������·�Ӧ�����ڵ�ѹ��������ѹ���͸��ַ�����ǻ���ڵ�ѹ����������ƷҺλ���⡢�;���ѹ������Ŀǰ���о��Ƚ϶���͸��½ӽ���������Ҫ��SOS��SOI��SiO2��Poly2Si�Ȱ뵼�崫���������н���Ͻ�Ĥ�͸��½ӽ������������¹���ѹ���������͸��µ���ʽѹ���������ȡ��뵼�����ʽѹ�����������ѹ��ʽѹ���������������ȸߡ��¶��ȶ��Ժá�����С����ֻ��ѹ�����У���Ӧ�������У���ˣ�����ʽѹ�����������������õ��㷺Ӧ�á�

         �͸��½ӽ��������ɹ�ĤƬ���ĵס��µ缫�;�Ե�㹹�ɡ������µ缫λ�ں�֧�ŵijĵ��ϡ��缫������һ���Ե�㡣��ĤƬ�������ø������Ը�ʴ��������һƬ��Ƭ�ϴ������港ʴ�γɵġ����µ缫�ļ�϶�ɹ�Ƭ�ĸ�ʴ��Ⱦ�������ĤƬ�ͳĵ����ü��ϼ���������һ���γɾ���һ���ȶ��ԵĹ�ĤƬ����ѹ����������