һ��ǰ��

��̬�����������������ĸ߹��ص�����һֱ��δ�ܳ��׽�������⣬����Ҫ����Ϊ��ͳ���մ��������е����Ի��ղ���������һ�ض�������Ҫ�󡣴�ͳ��ѹ�紫������������迹�ߣ���Ƶ���Խϲ�ڸ߹��غ󳣷�����Ư����ʹ�ò������ݲ�����ʵ���ֱ������Ķ�̬���̣�����ͳ���յ�ѹ��͵��ݴ�������Ȼ��Ƶ�췽�����������Ҫ�󣬵�ƵƯ�ƽ�С�����������칤�յ�ԭ��Ҳ���ܽϺý����һ�������⡣

���ڣ�MEMS�����ķ�չΪ�����������ķ�չ�ṩ��һ�����ᣬMEMS���ٶȴ������ߴ�С�������ᣬ�����������ߡ���̬��Ӧ�죬��ˣ��ڶ�̬���������й���ǰ����

����MEMS��������ԭ���ṹ�����ռ��ص�

����MEMS���ٶȼ���Ҫ��һ�����������ɣ�����һ�˹̶�����һ������һ���ܸ�Ӧ�ɼ��ٶȲ������������������飬��ṹ��ͼ1��ʾ��Ŀǰ������ѹ��ʽ������ʽ�����ʽ������ʽ������ʽ�ȼ�������

[1]���Ľ���Ҫ����ѹ��ʽ���ٶȴ�������

ѹ��ʽ���ٶȴ�����һ��Ϊ����ṹ������͵���ͨ��Ϊ�������Ƭ�����ܷ�͹��ر������ã������ϻ���ǰ�÷Ŵ�͸��ֲ�����·

[2]�м���������ӹ����ռӹ��������ۺ������飬���ң���������������ע�빤��������Ӧ������������������ܵ����˶�ʱ������������ֵ�仯��ͨ����˹ͨ���ż������仯�����Դ���ü��ٶ�ֵ��

������������΢��е�ӹ������ɷ�Ϊ��΢��е�ӹ��ͱ���΢��е�ӹ����֡���΢��е�ӹ������ǶԵ�������б�Ĥ�������и�ʴ���Ӷ��õ�Ԥ��΢�ṹ��һ�ּӹ�������������΢��е�ӹ��������ǶԳ����������ڻ�Ƭ�ϵĶ��Ĥ���мӹ����õ�����΢��е�ṹ�ļӹ���������΢��е�ӹ������йؼ��IJ����Ǹ�ʴ���գ���Ϊʪ����ʴ�͸ɷ���ʴ���֣�Ŀǰ���㷺ʹ�õ���ʪ����ʴ���գ����������ͬ����������Ը�ʴ������ͬ�Ը�ʴ��ָ�ھ�Ƭ���������ϸ�ʴ�ٶ���ȣ�����������������򼸺���״΢ϸͼ�νṹ�ķ��������������Ը�ʴ�����뱻��ʴ��Ƭ�Ľṹ�����йصĸ�ʴ�����������ڱ�ͼ���벻ͬ����Ķ�׼�ǹ�ϵ��������������ȴＸʮ΢�׵IJ�ͬ����ά�ռ�ṹ����V�Ͳۡ�����������̨�ṹ�ȡ�

MEMS���������ص�����������λ����λ�ṹ��ʹ�������ڸ߹��ؼ����µ�λ�Ʊ������ڰ�ȫ���α䷶Χ�ڡ����⣬���������źŴ����·ϵͳ�������ÿ��߹��ط�װ������װ��ͬһ����Ƭ�ϡ�

�������ݾ�������Ϊ���ļ򵥽��ܣ���������˽�����ⷽ���֪ʶ�������˽�ӽ����������ͺţ���ӭ������绰025-66075066��ϵ���ǣ����ǽ��߳�Ϊ������