�����������ѵ��������չ�����²���ӿ�֣����ѵ��ӳ�Ϊmems����Ӧ���г�������ȫ�򾭼�ƣ�����Ʋ��������й�����Ӵ���г��ϣ�ƽ����Ժ������ֻ������ѵ����Խ���mems��������������Ҫ�г�����

����Ϊ����������С�����ᡢ�����۵����ղ�Ʒ��mems�������ռ�����Ҫ���������ڳɱ��������С��Ȼ����ʵ�������У�mems�������ijɱ������쳣���ѡ�

����������mems��������΢ѹ����������΢���ٶȴ�������΢��е�����ǡ�΢�����������ȵ�;Ȼ��mems��������Ʒ�ֶൽ��������Ϊ��λ���Ҳ�ͬmems֮������϶࣬û����ȫ��׼�Ĺ��ա�

����������ҵ��������־��mems�������������ҵ�������Σ���׷���ģ���ã�ȫ��λ�����������mems��ϵ�в�Ʒ�Ŀ�������ô��Ʒ���ʽ�ʱ�估���յ�ǰ��Ͷ�붼��һ�������¼���Ͷ�ʷ��ոߡ���ҵ�ر��ڳ����dz�������ҵ���ܼ�Ԧ;��������辶������ijһƷ�ֵ������з����������γɹ�ģ���úͷ�Χ���ã�Ʒ��Ӱ��������ܴ��Թ��Դ�����Ϊ�������г�ӯ��ƽ���ģΪ�²�1000��ֻ������ҵ������ÿ������1000��ֻ���Դ��������ܱ��ֲ�����״̬�����ݵ��飬���ھ��������ҵ��Զ������һ��ģ��

�����ӹ����Ͽ����󲿷�mems��Ʒ�����������޹�˾�����������ⷨ�뵼�塢����������˾��memsic��˾��invensense��˾���Լ�ogdevices��˾�����Ϲ�˾���ڹ�ͬ�㣺����ijһ��mems��������Ʒ���������ڸ���ҵ���������ԡ���ȷ�ľ�Ӫ���Դ�ʹ���ҹ�˾������ҵ���ȵ�λ��

����Ȼ���ɹ�ģʽ��һ���ܸ��ơ�����ʱ���������г������Լ���ҵ������ͬ����Ŀǰ���й��������������������֮�ി���mems��������ҵ����ˣ������С�ʹ�������ҵ����̽��ʱ��һ�ֿ��еķ�ʽ�Ǵ�һ�Ҵ��͵�������Ʒ��ҵ�ڲ���������������չ�˾��

��������Ϊmems�����з��Ѷ��۸�ͣ������Ҫ����Ӧ�õ����β�Ʒ�������õ�Ʒ��ЧӦ�����ʡ��������绪Ϊ������ȴ������ѵ�����ҵǡ��������������������Ȼ��δ�����ַ�չģʽ���з�չ�ռ䣬��ҵҲ���ط�Ҫ����ɽͷ���������Ͷ�ʻ��߲�����С�Ĵ�������ҵҲ�Dz����ѡ��

����ת����Դ��http://www.gkong.com/item/news/2014/08/80528.html