����������������/MEMSչ�����������84���й�����չ����չ��������Ϊ��������Ʒ�뼼������չʾƽ̨��չ��δ����չ����ΰ��ͼ���Ĵ��ڣ������й� MEMS �ʹ�������ҵ��״�������ҹ�����������δ����չ����������������������ԭ���²��Ϻ��¼������о��������롢�㷺����Ʒ�֡��½ṹ����Ӧ�ò���ӿ�֡����У����廯����Ϊ�䷢չ����Ҫ���ơ�

����һ�����ܻ���һ�������Ƕ��ִ��й��������ݴ����洢��˫��ͨ�ŵȵļ��ɣ���ȫ���򲿷�ʵ���ź�̽�⡢�任�����߼��жϡ����ܼ��㡢˫��ͨѶ���Լ��ڲ��Լ졢��У���Բ���������ϵȹ��ܣ����еͳɱ����߾��ȵ���Ϣ�ɼ��������ݴ洢��ͨ�š�����Զ����͹��ܶ��������ص㡣��һ�����������м����������ܴ��������˹��������ϣ�Ŀǰ�ѳ��ָ��ֻ���ģ�������˹������硢ר��ϵͳ���˹����ܼ����ĸ߶����ܴ����������Ѿ������ܼҾӵȷ���õ����á�

�������ǿ��ƶ��������ߴ���������Ӧ�üӿ졣�ü�����������ʡ��ѧԺ(MIT)�ġ��������ۡ���־��Ϊ������δ�����������ԶӰ���ʮ�����˼���֮�ס�Ŀǰ�з��ص���Ҫ��·��Э�����ơ���λ������ʱ��ͬ�������������ںϼ�����Ƕ��ʽ����ϵͳ���������簲ȫ�����������ɼ������ȷ��档����һЩ������Ҽ����������ܼҾӡ���׼ũҵ����ҵ��⡢���¡����ܽ��������ܽ�ͨ������Լ���������Ӧ�á�

��������΢�ͻ���MEMS�������з����ͻ�����ż���΢���ӻ�е�ӹ��������������죬MEMS���������뵼��ӹ�����(����������̡���ɢ��������ʴ�̵�)���봫�������������죬ʵ���˹�ģ����������Ϊ������΢�ͻ���չ�ṩ����Ҫ�ļ���֧�š�Ŀǰ��MEMS�����������з���Ҫ�����¼�������(1)΢�ͻ���ͬʱ���͹���;(2)��߾���;(3)ʵ��MEMS�������ļ��ɻ����ǻۻ�;(4)�������ѧ������ѧ�ȼ������򽻲��ںϵ����ʹ�������

�������Ǽ��ɻ����๦��һ�廯�������ܵ��㷺��ע�����������ɻ��������ࣺһ����ͬ���Ͷ���������ļ��ɣ���ͬһ���ܵĶ������Ԫ���ü��ɹ�����ͬһƽ�������У�������Դ�����(��CCDͼ�񴫸���)����һ���Ƕ๦��һ�廯���缸�ֲ�ͬ������Ԫ����������ͬһ��Ƭ�ϣ��Ƴɼ��ɻ��๦�ܴ����������ɶȸߡ����С������ʵ�ֲ�����У�����ǵ�ǰ���������ɻ���չ����Ҫ����

�������Ƕ��������²��ϼ�����ͻ�Ƽӿ��˶������ʹ�������ӿ�֡��������в����Ǵ������ļ������������ϼ����з����������ܡ����ͳɱ��ͼ�����������Ҫ�ֶΡ����˴�ͳ�İ뵼����ϡ��⵼��ά�ȣ��л����в��ϡ��մɲ��ϡ����������׺�������ϵȳ�Ϊ�з��ȵ㣬���ﴫ���������˴����������������������ִ����������ʹ������ӿ�ӿ�֡����BCCResearch��˾ָ�������ﴫ�����ͻ�ѧ������������Ϊ�������Ĵ�����ϸ������Ԥ��2014��2019���������������ʿɴ�9.7%��

����������Դ��http://www.gkong.com/item/news/2014/09/80633.html