����ʵ�ֶ��ƻ�������Ϊ�ļ�⡣����һ���϶�ʱ����ڣ�����ͨ���Գ���΢С�񶯵��������񶯵�������Խ�趨����ֵ���Ϳ����ж����ƻ����������������

�������õĶ�Ϊ��ЧӦ����������Ȼ���������ܺܺã��ִ������ķ���ϵͳͨ�����öԳ���ij�����񶯼��ķ�ʽ����Ԥ���������ڴ���װ�䡢װ������Ƶ����Ӧ���ȶ�����ʹϵͳ�����Ŀɿ��Խ��ͣ����ʽϸߡ����⣬�ϳ����������˵ķ���Ҳ��Ŀǰ�Ը������������õ��ֶΣ��Ը����ֵ��Է�ʽ����Ч�ķ����ǶԳ������б�ǶȽ��м�⣬���Ÿ�Ӧ�������޷�������̬���ٶȣ�Ҳ���޷��Դ˽��м��Ԥ������֮�������Ҫ���������ɿ�����Ǵ������������

���������Ķ�ʹ��MEMS���������ĵͼ۸񡢵͹��ġ���оƬ����˫����ٶȴ�������

��������������90�㷶Χ�ڵ���ǣ�NA 5200ϵ��930V���ѹ���硣�ֱ��ʸߴ�0.001����0.005�㣬�߿����500g���õĿ���Ÿ����������ɿ��Ժ��ȶ��ԣ�������������Ư����ʱƯ�����ԶԳ���΢С�񶯺���������б�Ƕ�ͬʱ���м�⡣����Ӧ������������ϵͳ����������ϵͳ�ļ�ⷶΧ�����Ҽ���ϵͳ������˷���ϵͳ���ܵĿɿ��ԡ�

���������ϳ����������˵ĵ��Է�ʽ��ͨ�����������ĽǶ�����ڳ�ʼ״̬�ı�5�㣬�Ϳ��ж��е�������������������������ߵ��շ���Ԫ������ʱ������������������Ϣ��