�������������ճ���������������Խ��Խ���ԣ����͵Ĵ������������ߴ����������˴����������ܴ������ͽ����������������г���ռ�ݶ�ҲԽ��Խ��δ������������Ҫ��������չ��΢�ͻ������ܻ��Լ���������

����A.΢�ͻ�

����΢�ʹ������ǻ��ڰ뵼�弯�ɵ�·������չ��MEMS(microelectro-mechanicalsystems΢���ӻ�еϵͳ)����������΢��е�ӹ�������΢�׼�������������źŴ����������ݴ���װ�÷�װ��һ��оƬ�ϣ��������С���ɱ��͡����ڼ��ɵ��������ƣ����������ϵͳ���Ծ��ȡ������Ѿ���ʼ�û���MEMS�����Ĵ�������ȡ�����еIJ�Ʒ������΢���Ӽӹ������ر������׼ӹ������Ľ�һ����չ������������������΢�ʹ��������������״�������΢�ʹ����������ƺ�Ӧ�ý�Խ��Խ�ܵ����������������

����B.���ܻ�

�������ܻ�����������һ����������Ԫ����΢����������Χ���Ƽ�ͨѶ��·���������ϵͳ���ϵIJ�������м�⡢�жϡ���Ϣ����ȹ��ܡ��봫ͳ��������ȣ������кܶ��ص㡣���磬������ȷ������������״̬���Բ������Ͻ����������Ա���ٻ����������¶ȡ�ʪ����������;��������������Ӳ�����Խ��������;������������ϼ����봦�����ȡ��������ܴ������ľ��ȡ����̸��Ƿ�Χ������ȡ�����ˮƽ��Զ�̿�ά���ԡ�׼ȷ�ȡ��ȶ��ԡ��ɿ��Ժͻ����Զ�Զ����һ��Ĵ�������

����C.������

����������������ͨ�����˵�������Ϊ���Ӿ����������о��������˼ά�Ƚ���ģ�⣬���Ƴ����Զ�������Ϣ��������Ϣ��ģ���������Ϊװ�ã��ǽ���������ҽѧ�͵���ѧ������ѧ�໥��͸��չ������һ�����͵���Ϣ�������������＼�������������Ľ�һ����չ���ڲ��õĽ�����ģ�����幦�ܵķ���������������������ٵ�����������Ŀǰ�����˵��Ӿ���ζ���������Ͷ�Ŀ��������в��������������ǽ���������������Ӧ�õĹ���ǰ����