�����ӽ������������Ͱ뵼�弯�ɵ�·�������ϣ�ʹ���������м��źŻ�ȡ���źŵ���Ŵ��ź�ת���봦����һ����ص㣬��ˣ���һ�㴫������ȣ����ɴ�����һ�㶼�������С����Ӧ�죬����������ǿ�������׼���źŻ������źţ�����ǿ�������ȶ������ȸߵ��ŵ㡣

���������Ϊ�԰뵼��Ϊ���ĵ������ʹ����������������뼯�ɵ�·���ռ��ݣ�������·ʵ�ּ��ɻ��ļ��ɴ������������͵ČǶ࣬��������������΢��е�ӹ������ķ�չ��һЩ�ʺ��Թ�Ϊ���ģ�����MEMS����������΢�����нṹ��ʵ�ֵĽṹ�ͼ������������û�������ά���ټƣ���������Ƭ�ȣ��⼺�ı��˼��ɴ�������������Ϊ�����г����棬���ż��ɵ�·������MEMS�����Ŀ��� ��չ�����ɴ������м��ɵĵ�·�������޼���Խ��Խ�࣬���ɴ������Ĺ���Ҳ��Խ��Խǿ