����΢��翪�����������������������������߾�����ѧ�������ж������ƣ������ܷ����ʵ�������������У��й���Ӧ��ǰ�������ù�΢�ӹ�����΢���������ܾ��кܺõ��ظ��ԣ��ȿ�ʵ������������������IC�����γ�΢ϵͳ��ʹ��������С�ͻ����ͳɱ��͸����ܷ���չ��Ŀǰ����΢��е�ӹ������Ĵ������ɷ�Ϊפ�������ʽ��ѹ�����Ƶ��������ȸߡ��ṹ�򵥵��ŵ㡣

�����û������ͨ�����ͱ����΢��е�ӹ�����ʵ�������Ĥ�ͱ���һ�廯��������800��ʱ�Գ�ѹ��ѧ�����������150nm���ҵ�SI3N4�����ڹ��SIO2��Ĥ�ϡ��پ��������Ը�ʴ���գ��ӻ�Ƭ�ı�������Ƶļ��γߴ緶Χ�ڸ�ʴ��SI�㣬���γ���Ĥ��

�������ѹ��ʽ΢�ʹ��������ô�������һ������϶��ĵĵ�Ƭʽ���һ�廯��������