�����Ⲩ����翪���������Ļ���ԭ���Ǵ����ڹⲨ������Ⲩ���������λ�沨���ܵijߴ�򲨵����ڽ����������ı仯���仯����������ЧӦ������һ�������������ź����䣬��ʵ�ֶԹⲨ����ǿ�Ȼ���λ�ĵ��ơ����ഫ�����Ѿ��ֱ��ô�ͳ�ĹⲨ����΢��е�ӹ��ĹⲨ�����Ƴ��������ֹⲨ�����΢������ϵͳ����ĤƬ�Ͳ���Ƭ��ɡ����˽��Ⲩ����Ͻ�����Ƭ��һ���������������Ƭ��������5um����950um�IJ���ƽ�岨��������������ͨ�������ܴ��ݵĹ⣬�ɹ���ռ�����Ͻ��ܹ���ά����Ĥ�����������������Ʋ�״�����ĸ߶ȣ��Ӷ�����Ⲩ�������λ�ı仯��������λ���ƿ������һ��¸����ǽ��м�⡣

�����ʹ�ͳ�ķ���ʽ�ۺ��ﴫ������ȣ����פ���崫�����������С��΢��е�ӹ�������ICƽ�湤�ռ��ݡ��ʺ��ڼ��ɻ������������ɱ��͵��ŵ㡣