��������MEMS����������ͳ�Ļ�ѧ������������΢�ͻ�����MEMS�������о�����֮һ������������翪����������ͬ���ǣ����ִ�����������Ԫ������Ҫ�п����뱻�����Ӳ����໥���õ����ʣ���˴���������Ʋ�����Ҫ����MEMS���գ�����Ҫ��������������Ԫ��������������⡣

��������MEMS������΢�ṹ��������������Ҫ�й��΢�ṹ�����������͹�΢�ṹ���������������΢�ṹ�����������dzĵ�Ϊ�裬���в�Ϊ�ǹ���ϵ�΢�ṹ��������������Ҫ�н���������뵼�塢���������͡������͡�г�����͡���΢�ṹ������������Ҫ�ǽ���������뵼�峡ЧӦ��MOSFET�ͺ��ٽ�����Ե��뵼��MIS�������͡�MEMS��������������IC��·����һ�𣬶��Ҿ��ȸߡ����С�������ᡢ���ĵ͡�ѡ���Ժá��ȶ��Ըߣ�ͬ������֮��Ļ����Ժã������������������Ǵ��������յķ�չ���򣬶��һ������еĴ�������������MEMS����������