������MEMS���������Ŀɿ����¶ȵĵ絼����Ԫ�����������벿λ�����������ײ��������������б�Ĥ�����Ԫ������Ϊ����΢�������Ļ���Ԫ���������ڴݸ������͵�����΢�������Լ�΢���������С�����΢��翪���������������������С�����ĵ͡���������������֮���������������ڹ���ײ��ϵ�����ӹ����ա�Ԫ���Ŀɿ����Լ�Ԫ�������в���֮��ļ����Եȡ�

������������Ԫ������ ��һ��SNO2�����ﱡĤ����΢�������Ľṹ��SNO2�����ﱡĤ��������������������¶��йصģ���Ҫԭ��������������ڱ������/�Ѹ����̡���������ڱ��������������Ӧ�ٶȵȾ����¶��йء�

�������⣬�¶Ȼ�������΢�ṹ�ijߴ�仯����ˣ�����SNO2�����ﱡĤ��Ͽɿ���Ԫ����΢����������ͳ��ʽ��SNO2�����ﱡĤ����΢�����������Ե����ơ�

�����¶ȿ�����Ԫ�����Է����������Ԫ�������� ���棬��Ҫ���ǵ�������Ҫ�м���Ԫ�������Լ����污Ĥ����ʱ΢�ṹ�Ŀ��ơ��¶ȵı仯����Ԫ���Ը�������ɷֵ��������Ըı䣬��˿ɰ�����Ԫ�������¶ȵĿ��ƣ���������Ԫ���������������ԡ�Ϊ�����оŸ�����Ԫ���������������ȹ���С���¶ȱ仯�ʱȽϸߡ�

������Ҫע����ǣ���������Ԫ���ļ������Dz�������ʽ�������м��ȵġ�